Ar+直流等离子体处理 将块PUF小方块进行溶剂擦拭处理,然后入德国莱宝公司生产的PLASMA SAUCE VACUUM 1400镀膜机内进行Ar+的轰击实验,轰击时注意PUF的表皮正对离子源。离子轰击参数如下:放电电压:61.5 V 偏压:64.7 V 放电电流:10.5 A Ar+流量:12.0 ml/min 放电功率:0.5 kW 轰击时间:120 min 真空室气压:1×10-3Pa。
50%Ar/50% O2射频等离子体处理实验 将两块PUF小方块进行溶剂擦拭处理,然后将其放入吉林农安广播局电子仪器厂生产的JGB-300型晶控高频等离子体发生器内,进行混合气体50%Ar/50%O2射频等离子体处理。处理参数如下:进气量:100 ml/min 反应器真空度:150~300 Pa 射频频率:13.56 MHz 处理功率:400 W 处理时间:10 min 处理后的试样马上进行涂装处理、粘接处理和涂层附着力测试。