特丽亮申请聚氨酯抛光垫专利，提高氧化石墨烯在聚氨酯预聚物体系中的分散性

2025年7月19日消息，国家知识产权局信息显示，江苏特丽亮新材料科技有限公司申请一项名为“一种聚氨酯抛光垫及其制备方法”的专利，公开号CN120326519A，申请日期为2025年06月。

专利摘要显示，本发明为半导体的化学机械抛光技术领域，提供一种聚氨酯抛光垫及其制备方法。所述聚氨酯抛光垫至少包括抛光层和缓冲层，所述抛光层包括以下重量份的原料：聚氨酯预聚物60~100份、填料1~10份、固化剂10~30份，其中填料为介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯填料。以介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯为填料，将介孔二氧化硅接枝到氧化石墨烯表面，大大提高了氧化石墨烯在聚氨酯预聚物体系中的分散性，以更好的发挥氧化石墨烯的作用。这种填料不仅可以利用氧化石墨烯的热传导性能，而且加入的介孔二氧化硅具有中空的结构，也有利于提高抛光垫的热传导性能。